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製造プロセスの「見えない」を可視化し、歩留まりを最大化。

製造プロセスの「見えない」を可視化し、歩留まりを最大化。

リアルタイムなデジタル分子プロファイリングが、これまで把握困難だった製造プロセス内の分子レベルの変化を即座に捉えます。半導体製造や工業プロセスにおける課題を未然に防ぎ、精密な制御で品質と生産性を飛躍的に向上させます。

半導体製造の未来を拓くASTONのソリューション

半導体製造の未来を拓くASTONのソリューション

ASTONは、半導体製造のプロセスをリアルタイムで可視化・解析します。歩留まりの改善から予期せぬトラブルの防止まで、お客様の多様なニーズに的確なソリューションで応えます。

  1. 【監視】プロセスを見守り、変化を見逃さないリアルタイムモニタリング

    製造プロセス中に発生する微量なガスや物質の変化を、ASTONが連続で監視。
    これまで見えなかった重要な変化の兆候を逃さず捉えます。

  2. 【解析】膨大なデータを瞬時に処理するリアルタイムプロセッシング

    モニタリングで得られた膨大なデータを、ASTONがその場で即座に処理・解析。
    状況を瞬時に意味のある情報へと変換し、迅速な判断を可能にします。

  3. 【診断】プロセスの健全性を判断し、異常を未然に防ぐ

    解析データに基づき、プロセスの「今」が正常かどうかを的確に診断。
    不純物の発生といった微細な異常の芽を早期に発見し、トラブルを未然に防ぎます。

  4. 【通知】終点検知と異常発生を即座に知らせるアラート機能

    プロセス完了の瞬間を自動で検知。万が一異常を発見した場合は、即座にオペレーターへアラートを発報し、迅速な対応とダウンタイムの最小化を支援します。

プロセスモニタリング