東京 – 2021年7月15日 – 半導体、ヘルスケア、製薬業界向けの分子センシングおよび診断製品の大手メーカーであるAtonarpは本日、プラズマイオン化源を統合した革新的なin-situ半導体計測プラットフォーム「Aston」を発表しました。

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Astonは、半導体製造プロセスにおける計測技術の大きな進化であり、in-situ分子プロセス制御を可能にし、既存の工場をより効率的に稼働させ、より高い生産性を推進することを可能にします。半導体製造のためにゼロから構築されたAstonは、複数のレガシー装置を置き換えることができる堅牢なプラットフォームで、リソグラフィー、誘電体および導電性エッチングと蒸着、チャンバークリーン、チャンバーマッチング、排ガス処理などの包括的なアプリケーションで前例のないレベルの制御を提供します。

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「Astonを使用することで、特定のアプリケーションでは単位プロセスのスループットが40%以上向上しています。ファブ全体のスループットが1％向上するだけでも、一般的なファブでは年間数千万ドルの生産量になります」と、AtonarpのCEO兼CTO兼創業者のPrakash Murthyは述べています。

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Murthyは、「Astonを既存の製造プロセス装置に組み込むことで、新しい製造装置を導入する場合の1年に比べ、わずか6～8週間でより高いスループットを実現することができます」と述べています。「これは、メーカーの生産レベルの向上に大きく貢献し、現在の半導体工場の生産能力不足を解消する一助となることでしょう。

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迅速かつ実用的な終点検出（EPD）は、半導体製造装置やファブを運営する上で最も効率的な方法です。これまで、EPDは多くのプロセス工程に導入することができませんでした。なぜなら、必要とされるin-situセンサーが過酷なプロセスやチャンバー洗浄剤に耐えられないか、あるいは凝縮水の付着による目詰まりに悩まされるからです。従来、製造工場では、プロセスが完了したことを確認するために、一定の時間を使用することを余儀なくされていました。しかし、Astonは、チャンバークリーニングを含むプロセスの終了を正確に検知し、必要なクリーニング時間を最大80%短縮することで、生産を最適化します。

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アストンは、腐食性ガスやガス状汚染物質の凝縮物に耐性があります。また、従来の電子衝撃式イオン化源とフィラメントレスプラズマイオナイザーの独立したデュアルイオン化源により、半導体製造の過酷な条件下でも確実に動作し、既存のソリューションよりも堅牢です。これにより、従来の電子イオン化装置では腐食や故障が早かった厳しい環境下でも、Astonをin-situで使用することが可能になりました。

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Astonは、従来の質量分析計と比較して、サービス間隔を最大100倍まで延長することができます。また、セルフクリーニング機能により、特定のプロセスで発生する凝縮水の堆積を除去します。

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アストンは自分でプラズマを発生させるので、プロセスプラズマの有無にかかわらず動作します。このため、プラズマ源を必要とする発光分光計測技術よりも明らかに優れており、Astonは、処理に弱いプラズマ、パルス状のプラズマ、あるいはプラズマを使用しないALDや特定の金属成膜プロセスに最適です。

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また、Astonは、定量化された実用的なリアルタイムデータを提供し、最も要求の厳しいプロセスアプリケーションのための人工知能（AI）による強力な機械学習を促進することによって、プロセスの一貫性を向上させます。さらに、リアルタイムデータの統計解析とプロセスチャンバー管理における高い精度、感度、再現性により、ラインと製品の歩留まりを向上させることができます。

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Astonは、年間13％以上の成長率を記録しているCVD（Chemical Vapour Deposition）とエッチングのアプリケーションでの使用を主な目的としています。この分光器は、新しいプロセスチャンバーの組み立て時に設置することも、すでに稼働している既存のチャンバーに後付けすることも可能です。

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Astonは、韓国ATI社が開発したインテリジェント圧力コントローラPsiとも併用することができます。数ヶ月にわたる包括的な技術的実現可能性評価を経て、この組み合わせのソリューションは最近、サムスンの高度なプロセス制御アプリケーション用に購入されました。

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Astonは、現在、直接購入またはAtonarpのグローバルパートナーネットワークを通じて、評価および注文が可能です。

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Atonarpについて

Atonarpは、ライフサイエンス、製薬、半導体市場向けの分子センシングと診断のデジタル変革をリードしています。統一されたソフトウェアプラットフォームと、光学および質量分析計技術における画期的なイノベーションを背景に、Atonarp製品はリアルタイムで実用的な包括的分子プロファイリングデータを提供します。半導体、ライフサイエンス、健康診断機器の開発と商業化における世界トップクラスの専門家チームが率いるAtonarpは、日本、米国、インドで事業を展開しています。詳しくは、https://atonarp.com。