Products 製品情報
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質量分析装置 ASTON Impact
In situ 分子レベルプロセス制御を実現する革新的なプラットフォーム。半導体製造プロセスにパラダイムシフトをもたらし、工場運用の劇的な効率化と最適化を実現します。
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ガス導入システム付き質量分析装置 ASTON Impact
ASTONの新ガス導入系は、配管温調、幅広い圧力帯でのコンダクタンス制御、リアルタイム性を実現。高応答性の高精度測定を可能にし、半導体製造プロセスに革新をもたらします。
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質量分析装置 ASTON Lyo
ASTON Lyoは、パルスインジェクション機能で凍結乾燥中のシリコンオイル汚染を軽減。質量分析装置の連続測定を可能にし、運用期間を延長。高精度なプロセス監視で品質と効率を向上させます。