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ウェビナー|半導体計測用高精度分子センサーASTONのご紹介

このウェビナーでは、ATONARPがAston社の工場スループットの向上と、高度なCVDおよびエッチングアプリケーションのためのin-situ計測ソリューションを実現する方法を詳しく紹介します。プレゼンテーションでは、計測の課題に対応するAstonの能力を詳しく説明し、Astonの堅牢なin-situ分子センサー技術(統合プラズマイオン化源を含む)を既存のレガシー計測ソリューションと比較します。詳細および追加リソースへのアクセスは、http://atonarp.com/aston。

このウェビナーでは、Saïd Boumsellek, PhD, Sr.がディスカッションを行います。Saïd Boumsellek博士(AtonarpのInstrumentation & ApplicationsのDirector)です。Saïd は物理学の博士号を持ち、イオン化源と化学分析技術の分野で、査読付きジャーナルに32以上の論文を発表し、40以上の特許を取得しています。

ウェビナーはSemiWikiが主催しています。

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