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半導体製造におけるサステナビリティ
半導体製造において、「お金」は常に極めて重要ですが、「持続可能性」が改めて重要視されています。コスト削減と排出・廃棄物の削減、この2つの目標を達成するためにはどうすればよいのでしょうか?
時間軸の制御からイベント軸の制御へ」というシンプルかつ強力なアプローチです。
時間ベースのプロセス管理には基本的に非効率性があり、ほとんどの場合、プロセスは割り当てられた時間よりかなり前に終了するため、不必要な非効率性と過剰洗浄が発生します。その代わりに、イベントベースのプロセス管理に移行することで、特定のイベントや状態(洗浄の場合、これは終点検出と呼ばれます)、例えば特定のガスの濃度に達したときにプロセスが停止されます。そのためには、AtonarpのAstonのような連続監視の現場計測ツールが必要です。
詳しくはこちらでご確認ください。
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