東京 – 15.2021年7月 15日 – 半導体、医療、医薬品分野のモルキュラーセンサーおよび診断製品の大手メーカーであるAtonarpは、Aston社との提携により、半導体製造装置向け血漿中イオン濃度の高い革新的なIn-situ測定系を発表しました。

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Astonは、半導体の製造技術において画期的な進歩を遂げました。この新しいプラットフォームは、モグラによるその場でのプロセス解析が可能で、効率的な生産と高出力な石英ガラスを実現します。Astonは、半導体製造装置向けに特別に開発されたもので、これまで工場で使用されてきたさまざまな装置を使用しています。堅牢なプラットフォームは、フォトリソグラフィー、電解質・希土類材料の分解・洗浄、プロセス釜の洗浄・加工、ガス切断など、さまざまな用途で優れた制御を実現します。

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「Astonは、より良い製品を40％以上製造することが可能であり、これは非常に大きな改善となります。AtonarpのCEO、CTO、GrounderであるPrakash Murthyは、「半導体の生産において、生産性を大幅に向上させれば、数百万ドル規模を達成することができます」と述べています。

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Murthy氏は、「Aston社によって、最新の生産設備が導入されることで、数週間から数十週間以内に購入することが可能になる」と、さらに述べています。「アストンは、生産工程を大幅に改善し、生産性向上のための最新技術を導入することで、顧客満足度を向上させることができます」。

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エンドポイントディテクション（EPD）は、半導体の製造に使用される機器の効率的な検出方法です。しかし、EPDは、多くのプロセスにおいて、過酷なプロセスや溶媒抽出に使用される化学物質のために、必要なIn-situセンサーを使用することができず、またコールドストラップによって停止したため、使用することができませんでした。そのため、このような場合、処理にかかる時間を最小限にする必要がありました。そのため、アストンは、生産性を最適化するために、ある作業が完了するまでの時間を正確に記録しています。その結果、耐用年数が80%程度に短縮されます。

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Astonは、腐食性ガスだけでなく、熱水による汚染にも対応しています。このプラットフォームは、他のシステムよりも頑丈で、2つの独立したイオン源（従来のEIイオン源とフィラメントなしのプラズマ源）を備え、ハーフブライター生産の厳しい条件下でも安定した性能を発揮することが可能です。また、過酷な環境下での現場計測に使用されるため、腐食性の高いEI-Ionquellが短時間で分解されます。

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そのため、Astonの耐衝撃性は、他の質量分析計に比べて数十倍も低くなっています。このため、自己分離機能により、凝縮によって生じる様々な現象に対応することができます。

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Aston自身がプラズマを生成するため、プラズマの有無に関係なく機能します。そのため、プラズマ装置が必要なアトムエミッションスペクトロメトリー実験に対して、非常に大きな優位性を持っています。そのため、Astonは特に原子核の生成と、低速、低速、あるいはプラズマを使用しない特殊な金属生成プロセスのために設計されています。

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アストンは、効率的なプロセスを実現するために、定量的で実用的なデータ、すなわち、KI（Künstlicher Intelligenz）に基づく、効率的で優れた機械的な学習が必要です。さらに、リニアおよび生産技術担当者は、高い専門性、専門性、および統計的なデータ解析と生産管理への対応力により、生産管理業務を遂行することができます。

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Astonは、化学的なガス分析および洗浄のために開発され、その使用により年間13％以上の達成率を誇っています。この計器は、新しいプロセスタンクを設置する際や、既に使用されている装置に取り付けて使用することができます。

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Astonは、韓国ATIのインテリジェント・ドライブ・レコーダーであるPsiとの組み合わせで使用することができます。このような組み合わせによるパフォーマンス向上のために、サムスンは、最新の技術的背景を考慮した研究を行い、その成果を発表しました。

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Astonは、現在、評価および販売中であり、Atonarpと直接取引を行うか、またはAtonarpのグローバル・パートナー・ネットワークと取引することができます。

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アトナープについて

Atonarpは、ライフサイエンスおよび製薬・医薬品業界におけるモルキュラーセンサーと診断のデジタル化を推進します。Atonarpの製品は、統合されたソフトウェアプラットフォームと、光学的分光法および質量分析法における最新の技術に基づいており、実用的で優れたモルカルロ・プロフィールを提供します。アトナープは、石油化学、医療、ライフサイエンス分野の診断機器の開発および販売に携わる専門家チームを有し、日本、米国、インドに拠点を置いています。より詳しい情報は、https://atonarp.com をご覧ください。