半導体や薄膜太陽電池の製造工程では、さまざまなプロセスガスや粒子状物質の副産物が使用・生成されるため、それらを管理しながら廃棄する必要があります。

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この廃棄処理は「アベイトメント」と呼ばれ、複数の課題を抱えています。環境コンプライアンスを確保するために排ガス処理装置からの排ガスをモニタリングするには、PPMレベルの精度で高感度、リアルタイム、in-situの計測が必要である。さらに、除害を最適化するためには、除害システムに流入する汚染物質の濃度を廃棄物処理ガスで測定することが必要である。

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多くの除害装置が「オープンループ」で運転されているため、天然ガスや窒素の消費量が多くなっています。一般的に、除害の証明となる記録は残されていない。

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アトナープのAston Plasma質量分析計を使用することで、その場で最適な排ガス燃焼プロセスの制御が可能となり、コンプライアンスのためのデータログを作成することができます。Aston Plasmaは、過酷な条件に耐え、PPBレベルまでの感度を提供することができるユニークな装置です。

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Astonの詳細と、効率的な排ガスモニタリングや排ガス環境対応を支援するアプリケーション概要については、以下からダウンロードしてください。