Semiconductor Digestの編集長であるPete Singerは、最近、Atonarpの質量分析GMであるJoe Cestariにインタビューを行いました。

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ビデオでは、Joeが、発光分光分析（OES）や残留ガス分析（RGA）といった従来のin-situチャンバー分析手法に対するAtonarpのAstonミニ質量分析計の優位性について説明しています。

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Astonは、様々なプロセスステップにおける前駆体、反応物、副生成物のリアルタイムin-situモニタリングを可能にし、ベースラインフィンガープリント、チャンバークリーニング、プロセスモニタリングのエンドポイントを実現します。

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堅牢なプラズマイオン化源とセルフクリーニング機能付きリジェンモードを搭載したAstonユニット。

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