アトナープ株式会社（本社：東京都港区、代表取締役：スリーダル・マーシー・プラカッシュ ）は、このたび国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）が公募する「ディープテック・スタートアップ支援事業」のPCAフェーズ（実用化研究開発（後期）） において、当社の提案「半導体製造プロセス制御自動化の為のリアルタイム質量分析センサ 」が採択されたことをお知らせいたします。

NEDOニュースリリース
新たにディープテック分野のスタートアップ18社を採択しました
https://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_101873.html

本事業の背景と目的
2nm以降の先端半導体製造プロセスでは、プロセスチャンバー内のガス反応をリアルタイムにモニタリングし、自動制御する技術が不可欠です 。しかし、既存の技術では分離性・定量性に課題があり、有効な手段がありませんでした 。
当社は、この課題を解決するため、小型で高性能なリアルタイム質量分析センサの開発を進めています 。今回のDTSU事業の支援を受け、主要な半導体製造装置メーカーとの連携を強化し 、当社製品組込型モジュール「Aston Integrated」の評価と、AIを活用したデータ分析ソフトウェアの開発を加速させます 。これにより、日本の半導体製造装置メーカーの国際競争力確保に貢献することを目指します 。

代表取締役 スリーダル・マーシー・プラカッシュのコメント
「このたび、当社の技術と事業戦略がNEDOに評価され、DTSU事業に採択されたことを大変光栄に思います。本助成事業を通じて、当社のコア技術である質量分析プラットフォームの開発をさらに推進し、半導体業界が直面する大きな課題の解決に貢献できると確信しています。パートナー企業様との連携を深め、世界初の製造プロセスレシピ自動化を実現するソリューションを提供してまいります。」

アトナープ株式会社について アトナープは、「物質を分子レベルで迅速かつ正確に解析し、人々の生活をより安全に、且つ豊かにする」ことをミッションとしています 。高感度かつリアルタイム性を有する小型の質量分析プラットフォームを開発し 、半導体製造、ライフサイエンス研究など、多様な業界に革新的な分子センシング・分析ソリューションを提供しています 。

【本件に関するお問い合わせ先】 アトナープ株式会社 財務部 電話番号：03-6435-6234
メールアドレス：marketing@atonarp.com